Vakuová napařovací aparatura
Katalog > Vakuová technika
Popis nákresu pracovního prostoru napařovací aparatury.
1 - recipient
2 - průzor
3 - jehlový připouštěcí ventil
4 - přívody pro ohřev lodičky
5 - příruba recipientu s těsněním
6 - deskový ventil mezi recipientem a čerpací aparaturou
7 - lodička s odpařovaným materiálem
8 - pohyblivá clona
9 - pokovovaný předmět
10 - měrka
Napařovací aparatura se skládá ze snímatelného kovového recipientu [1] s pozorovacím průzorem [2] (u malých laboratorních aparatur může být recipient skleněný), spodního víka a čerpacího systému.
Recipient se těsní těsnícím kroužkem mezi zabroušené styčné plochy [5]. Pod recipientem je zdroj par [7] (vypařovaná látka) a napařovaný předmět [9]. Pohyblivá clona [8] slouží k zachycování první dávky par (většinou znečištěné). Vypařovaná látka se obvykle vkládá do kovové nebo keramické lodičky [7], zahřívané elektrickým topným tělískem, nebo přímo na vlákno z vysokotavitelného materiálu. Zahřívání se může také provádět bombardováním elektrony (elektronové dělo), popřípadě laserovým paprskem.
Současná napařovací zařízení jsou vybavena systémy na měření tloušťky napařované vrstvy, případně dalších vlastností vrstvy.
