Vakuová napařovací aparatura řady VNA600
Aparatura je využitelná jak pro laboratorní, tak pro produkční napařování tenkých vrstev různých materiálů na kovové i nekovové materiály jako je sklo, keramika, plasty a další. Stavebnicová koncepce zařízení je předurčena k možným značným úpravám technologických postupů, včetně doplňování různých zařízení do pracovního prostoru recipientu, včetně dalších měřících a automatizačních prvků. Zařízení se skládá ze dvou základních částí, recipientu s čerpací aparaturou a stojanu s elektrovýzbrojí a řídícím systémem.
Recipient je koncipován jako šestihran s otevíráním předních dveří a čerpáním v zadní části recipientu. Po otevření dveří komory je zajištěn pohodlný přístup k veškeré výbavě recipientu, jako jsou odpařovače, měřič vrstev, rotační přípravek a další části, které je nutno pravidelně demontovat a čistit. Připojení čerpacího systému na přírubu v zadní části recipientu jej snadněji chrání před nasáním nečistot. Ve spodním a horním víku je umístěno dostatečné množství volných průchodek pro rozšiřování a přestavbu výbavy aparatury, například pro elektronové dělo, naprašovací magnetrony, různé měřící a detekční přístroje. Rotační planetární přípravek je namontován do horního víka. V horním víku jsou dále instalována vakuová čidla tlaku a napouštěcí ventily pro připouštění inertních plynů. Na boku recipientu je volná univerzální příruba pro další rozšíření. V horní části jsou umístěny dvě halogenové lampy pro ohřev substrátu. Ve spodním víku jsou standardně instalovány dva odporové odpařovače připojené k transformátoru 4V/1000A, který je plynule regulován, dále pak osvětlení komory a krystalový měřič tenkých vrstev.
Čerpací systém se skládá z olejové rotační vývěvy a turbomolekulární vývěvy. Měření vakua je zajištěno pomocí dvou samostatných čidel systému Pirani a Penning. Připouštění inertních plynů je realizováno pomocí elektronického jehlového ventilu řízeného automaticky v závislosti na tlaku.
Řídící skříň aparatury obsahuje veškerou elektrovýzbroj včetně automatického řídícího systému založeného na počítači platformy PC s LCD dotykovou obrazovkou a operačním systémem MS Windows XP. Počítač zajišťuje plně automatický, nebo poloautomatický provoz zařízení včetně zpracování a vyhodnocování měřených veličin jako je tlak, teplota a tloušťka napařené vrstvy. Zajišťuje plně automatické napařování s měřením tloušťky včetně automatického napouštění inertních plynů. Celý proces je plně konfigurovatelný obsluhou a maximálně variabilní. V průběhu procesu jsou ukládána veškerá data o procesu, která lze následně zobrazovat a zpracovávat s možností přenosu do podnikové počítačové sítě, nebo tisku na tiskárně. Použití této platformy umožňuje výrobci provádět velmi rychle úpravy řídícího systému dle přání zákazníka.
Vývoj a výroba tohoto zařízení je realizována ve spolupráci s PZP Komplet a.s.