Napařovací zařízení VNZ 1202 / VNZ 1202K
TECHNICKÝ POPIS VNZ1202 je jednokomorové zařízení s pracovním prostorem uvnitř válcového recipientu s klenutými víky s vertikální osou. Na horním víku jsou umístěny dva průzory a příruba pro systém připouštění pracovního plynu. Pracovní prostor je přístupný po zvednutí recipientu pomocí hydraulického zařízení.
Standardní technologické vybavení pracovního prostoru obsahuje čtyři odporové odpařovače,elektrodu vysokonapěťového výboje a rotační přípravek pro umístění substrátu. Vertikální osa přípravku má plynule regulovatelné otáčky od 0 do 5 ot/min.
Pracovní prostor je čerpán vakuovou soustavou složenou z rotační, Rootsovy a dvou difúzních vývěv a lapačů par. Všechny prvky vakuového systému jsou vyrobeny z korozivzdorné oceli.
Celý pracovní cyklus od spuštění zařízení, čištění výbojem, napařování a měření napařené vrstvy probíhá zcela automaticky dle zadaných parametrů pomocí mikroprocesorového řídicího systému. Technologický proces je monitorován zobrazovací jednotkou. Tím je možno dosáhnout velké přesnosti a jakosti napařené vrstvy.
Poloautomatický provoz umožňuje řízení technologického procesu podle přímé volby obsluhy. Tento provoz je chráněn před chybnou obsluhou nebo důsledky výpadku elektrického proudu blokováním nežádoucích funkcí.
Elektronická a silová součást zařízení je umístěna v odděleném stojanu.
FUNKČNÍ MOŽNOSTI
Programové vybavení napařovacího zařízení umožňuje:
- plně automatický provoz čerpací jednotky ve zvoleném režimu
- plně automatický pracovní cyklus od založení zboží až po zavzdušnění pracovního prostoru s možností jednoduché volby posloupnosti jednotlivých činností a s možností ručního zásahu ve zvolených bodech cyklu
- čištění vsázky vysokonapěťovým výbojem
- automatické přepínání odpařovačů v průběhu cyklu
- napařování ze čtyř odporových odpařovačů o napětí 4 nebo 8V a max.proudu 800A ručně nebo automaticky dle zadaných hodnot
- předžhavení a odplynění odpařovačů
- regulaci a měření rychlosti napařování
- regulaci a měření tloušťky napařené vrstvy
- v základním provedení možnost napaření až dvaceti vrstev v jednom cyklu(po dohodě s výrobcem lze libovolně zvýšit)