INFICON® STM-2 monitor depozice tenkých vrstev

Katalog vakuová technika > Měření depozice tenkých vrstev

STM-2 je přístroj pro měření tloušťky a rychlosti depozice tenkých vrstev. STM-2 kombinuje jednoduché kompaktní provedení s rozhraním USB a přesností přesného měřícího přístroje. Nízká cena, malá velikost a jednoduchost STM-2 nabízí snadnou instalaci a jednoduchou obsluhu přístroje.

Vynikající výkon

STM-2 je nejpřesnější monitor depozice tenkých vrstev s USB rozhraním. Provádí deset měření za sekundu a dosahuje rozlišení 0,037 Å na jedno měření (hustota 1).

Jednoduchá a rychlá instalace

STM-2 se dodává se vším co je potřeba pro připojení ke snímači QCM a počítači s operačním systémem Windows®. Jednoduše připojíte přiložený BNC kabel od snímače QCM do STM-2 a připojíte USB kabel (součástí dodávky) do PC. Není vyžadován žádný externí oscilátor ani napájecí zdroj.

STM-2 je vybaven vnitřním oscilátorem, který umožňuje jednoduchou a nákladově efektivní instalaci do 1m od měřícího krystalu. Pokud je vyžadována instalace dále než 1m od krystalu, je možné vnitřní oscilátor vypnout a použít externí oscilátor.

STM-2 Software

STM-2 je dodáván se softwarem pro LabVIEW®, který umožňuje jednoduchou obsluhu a protokolování dat. Současně je k dispozici Windows aplikace pro provoz a protokolování až 8 STM-2 současně (každý STM-2 vyžaduje napájený USB port).

Poznámka: Server SMDP musí být nainstalován pro aplikační software Windows i LabVIEW.

Funkce

Nízkonákladový přístroj
Připojení USB
Interní oscilátor
Vysoká přesnost při 10 měřeních za sekundu
Kompatibilní s externím oscilátorem
Zahrnuje software

Graf naměřené tloušťky deponované telké vrstvy

Aplikace

Výzkum a vývoj
Průmyslové vakuové povlakování
Optické povlaky
Výroba polovodičů

Typ	STM-2
Senzorové vstupy	Jeden
Kompatibilní snímače	Jednorázový QCM snímač bez uzávěru
Senzorový vstup	BNC
Frekvenční rozsah měření	6,0 až 5,0 MHz
Rozlišení frekvence	± 0,03 Hz při 6 MHz
Interval měření	0,10 s
Stabilita referenční frekvence	± 2 ppm
Tloušťka a rychlost Rozlišení / měření	± 0,037 Å
Rozlišení displeje tloušťky	1 Å (zobrazení pouze na softwaru)
Rozhraní	USB v1.1 nebo novější schopné poskytnout 400 mA, 5 V (DC)
Velikost	114 x 75 x 25 mm
Hmotnost	57 g
Požadavky na počítač	Jakékoliv zařízení se systémem Windows 2000, XP, Vista, 7, 8, 10 s jedním dostupným rozhraním USB 1.1 (nebo novějším) pro každý STM-2

Postup instalace software STM-2:

Postupujte dle pokynů na přiloženém CD.

Postup bez CD (2.3.2022):

Nejprve je nutné nainstalovat SMDP Server (runtime prostředí LabVIEW) soubor https://www.inficon.com/v1/attachment/812fb41b-8bb0-412e-beae-fdfa7263ad87/setup_smdp_svr_lv.exe
Asi si vyžádá restart PC (pro test bez měřícího přístroje není nutný, takže lze otestovat na virtuálním PC nebo v Sanboxu kde by se instalace restartem smazala)
Následně do stejné složky stáhnout soubory STM-2 v1.4.0 Setup.exe a USB Installer v1.8.0 Setup.exe
STM-2 Windows Application Software https://www.inficon.com/v1/attachment/9f381735-1018-48d0-9914-d19fa27c1592/STM-2%20v1.4.0%20Setup.exe
USB Installer v1.8.0 https://www.inficon.com/v1/attachment/5822c883-8a80-44a5-bc19-eba3658ab8ee/USB%20Installer%20v1.8.0%20Setup.exe
A spustit STM-2 v1.4.0 Setup.exe, soubor USB Installer v1.8.0 Setup.exe si instalátor spustí sám.
Vše musí fungovat i bez připojeného měřícího přístroje.